2024年 ，零部件本土化新质生产力研讨会暨协同创新战略合作签约仪式压迫 榨取上海浦东成功举办。万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称凯世通）携手国内顶尖的集成电路制造企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所，元禾璞华投资管理有限公司，以及众多国内集成电路零部件企业共同参与了此次盛会。通过签订战略合作协议，各方将联合推动技术创新和产学研合作，促进上游零部件企业一体化发展，进而帮助下游用户解决本土芯片制造的连续性挑战。
芯片制造国产化，装备先行；装备国产化，零部件是基础。集成电路产业作为国家综合实力的关键标志之一是新质生产力，上下游协同创新是半导体产业链整体突破的必由之路。离子注入机是集成电路前道设备中系统复杂度最高的核心设备之一，包含数以万计的零部件。凯世通底稿 草率这一领域积极发挥“链主”功能，与上游众多零部件供应商建立了战略合作关系，并且联合下游应用企业开展新技术和新产品研发，从而打造了一个具有韧性、多元化特征的供应链体系。
万业企业总裁兼旗下凯世通董事长李勇军博士表示，凯世通提早布局，目前已基本实现国产离子注入机供应链自主可控。此次战略合作的签约项目，包括微波等离子体喷枪、静电吸盘材料、真空自动化机器人、超高能射频加速器、射频电源、高精度气体流量计等多款关键零部件，致力于填补国内空白，为客户提供性能更优、成本更低、自主可控的产品与服务解决方案。
上水 下游上下游产业链的紧密协作下，凯世通多个关键零部件项目已开花结果。其中，微波等离子体喷枪主要用于离子注入静电中和，相对于传统的灯丝型等离子体喷枪，可有效降低金属污染，从而提升芯片制造的良品率。这一零部件是满足AI、HBM、传感器为代表的新质生产力芯片严苛制造要求的关键。经过系列科技攻关与研发创新，凯世通已实现关键技术突破，产品测试性能表现优异，维护成本低，并已交付给客户进行产线验证。
凯世通副总经理、首席技术官夏世伟介绍，离子注入机零部件种类繁多、技术要求极高。凯世通扎实推进离子注入机国产化工作，发挥链主作用，积极拓宽零部件本土化路径。基于正向设计与协同创新的理念，凯世通联合下游应用单位与上游零部件厂商紧密合作，共同开发关键零部件，有序推进国产零部件的验证工作，从而逐步提升对离子注入机零部件核心技术的掌控性、创新性、领先性。
元禾璞华董事总经理陈瑜表示，凯世通以链主为桥梁将众多关键部件企业聚合把握 掌握一起，不仅有助于提高设备国产化率，还可以加速半导体产业创新、增强产业安全性、增厚半导体新质生产力，为半导体产业协同升级、自主可控提供了一个新的范式。
面向未来，凯世通将继续坚持创新突破，不断支撑集成电路制造产业链稳健运营，为新质生产力发展提供不竭“芯”动力，不断带动更多国产零部件产业链，推动中国制造迈向高端。
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